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光刻掩模設計與加工制造服務
周 期:3~5個工作日
價 格:700/pcs
本中心可以提供常規掩模與高階掩模設計及加工制造服務,其中常規掩模尺寸為2”、2.5”、3”、4”、5”、6”、7”、8”×10”,制備的最小CD線寬為1um,誤差在0.25um左右。高階掩模制備一般使用電子束直寫設備,目前可以提供的最小線寬CD為0.13um,誤差在50nm以內。
服務描述

1. 光刻掩模版制備技術簡介 ?

 光刻掩模版,別稱“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”,一般使用玻璃或者石英表面覆蓋帶有圖案的金屬圖形,實現對光線的遮擋或透過功能,是微電子光刻工藝中的一個工具或者板材。我們利用光罩可以實現微電子工藝中的圖形傳遞。光刻掩模版的加工技術主要有兩種:其一為激光直寫技術;其二為電子束直寫部分,兩種技術區別在于光源不同,實現的精度有所區別。    

2. 我們能夠提供的掩模版種類及其應用范圍?

普通版 :一般使用蘇打玻璃或者石英,常見2寸到10寸,線寬一般在1um以上,主要用戶接觸式曝光機,轉移圖形與版圖尺寸為1:1,實現同比例的圖形轉移。

Stepper版:一般使用石英版,常見為5寸和6寸版,線寬一般在1um以上,主要用于Stepper曝光機臺,轉移圖形與版圖尺寸實際比例一般是4:1或者5:1,實現將版圖圖形縮小4~5倍之后投射于目的片上。

納米壓印版:一般用石英版,刻蝕其表面的金屬形成溝槽和透光不透光的組合,尺寸一般需要5寸及以上,采用電子束直寫的技術實現表面nm圖形的轉移,一般線寬在200~800nm左右,借助掩模版對光刻膠的壓力、同時輔助紫外曝光,最終實現納米級圖形的轉移。

金屬掩模版:一把采用不銹鋼,在不銹鋼表面通過激光加工或者腐蝕的方式,實現表面鏤空的圖形設計,最小線寬一般要50um,能夠用于電子束蒸發中,用于電極圖形的轉移。

3. 平臺光刻掩模版加工等級劃分、參數、參考報價及交付周期?

本中心可以提供常規掩模與高階掩模設計及加工制造服務,其中常規掩模尺寸為2”、2.5”、3”、4”、5”、6”、7”、8”×10”,制備的最小CD線寬為1um,誤差在0.25um左右。高階掩模制備一般使用電子束直寫設備,目前可以提供的最小線寬CD為0.13um,誤差在50nm以內。

光刻掩模版的評價參數主要有版圖尺寸、材質、CD線寬、精度、遮光類型、加工技術、參考報價、交付周期,根據客戶的不同使用情況我們會推薦最合適的版圖。具體等級劃分及相關參數如下:

等級

CD線寬

版圖尺寸

材質

CD線寬

CD精度

套準

加工技術

參考報價

 A1

>10.0 um

2.5寸或3

蘇打

>10.0 um

0.5 um

0.5um

國產激光直寫

600/pcs

 A2

>10.0 um

5

蘇打

>10.0 um

0.5 um

0.5um

國產激光直寫

1500/pcs

 B1

>2.0 um

2.5寸或3

蘇打

>2.0 um

0.5 um

0.3 um

精密激光直寫

700/pcs

 B2

>2.0 um

5

蘇打

>2.0 um

0.5 um

0.3 um

精密激光直寫

2000/pcs

 B3

>2.0 um

5

蘇打

>2.0 um

0.3 um

0.3 um

精密激光直寫

2500/pcs

 B4

>2.0 um

5

石英

>2.0 um

0.2 um

0.3 um

精密激光直寫

3500/pcs

 C1

>1.5 um

5

蘇打

>1.5

0.5 um

0.3 um

精密激光直寫

2500/pcs

 C2

>1.5 um

5

石英

>1.5

0.2 um

0.3 um

精密激光直寫

4000/pcs

 D1

>1.0 um

5

石英

>1.0 um

0.20 um

0.2 um

精密激光直寫

6000/pcs

 D2

>1.0 um

5

石英

>1.0 um

0.15 um

0.2 um

精密激光直寫

8000/pcs

 D3

>1.0 um

5

石英

>1.0 um

0.07 um

0.2 um

精密激光直寫

10000/pcs

 E

>0.5 um

6寸(貼膜)

石英

>0.5 um

0.03 um

0.12 um

電子束直寫

30000/pcs

 F

>0.25 um

6寸(貼膜)

石英

>0.25 um

0.02 um

0.07 um

電子束直寫

70,000/pcs

 注意:

1. 光刻板報價按照CD線寬等級、版圖尺寸、版圖材質、CD線寬精度、使用設備等不同報價不同。


2. 5寸石英版或者蘇打玻璃版可以通過劃切做成4塊小版,加工費+500/次;


3. 關于版圖中的線條圖形,圖形如果低于一半面積為圓形或者圓弧且直徑為1.5um以內,原有價格*1.5倍;高于一半面積為圓形和圓弧,且直徑為1.5um以內,原有價格*2倍。


4. 關于客戶設計咨詢,對于客戶需要我們輔助做設計或者制備版圖,原有價格*1.5倍,比較復雜*2倍。


5. 制版流程: 客戶提交需求并發版圖-->版圖評估給予報價-->確認制版并付款-->版圖交付。


6. 關于加急服務:常規周期為7個工作日交付

若加急服務,<3天(原有價格*1.5倍);1天(原有價格*3);


4. 光刻掩模版加工工藝介紹

         

     

    5. 掩模版相關設備介紹:

 

1. 電子束直寫 Vector Scan(萊卡)

技術參數與能力:

 工作電壓:50kV

 電流密度:10 A/cm2

 掃描區域:150 mm*150mm

 套刻精度:12 nm(3?)

 條寬均勻:13 nm(3?)

 版圖尺寸:只可以制作6025的石英版掩模

 最小條寬:90 nm+-12 nm

 

 

2. 激光束直寫(美國) Raster Scan

技術參數與能力:

 掃描區域:150 mm*150mm

 套刻精度:12 nm(3?)

 條寬均勻:15 nm(3?)

 版圖尺寸:6025、6012、5009的石英版掩模版

 最小條寬:0.8 um+-50nm

 

 

3. 無掩膜激光直寫光刻機

技術參數與能力:

 最小條寬:0.8 um+-50nm

 工作波長:405 nm

 分辨率:0.8 um 

 條寬均勻度:150 nm(3?)

 套刻精度:150 nm

 版圖尺寸:4~9寸石英、蘇打玻璃掩模版、3~8寸硅片

 

4. 多腔室電感耦合等離子體刻蝕機ICP

技術參數與能力:

刻蝕:Cl基刻蝕腔:刻蝕Cr (已開發)

  F基刻蝕腔: 刻蝕MoSiX (已開發)

  樣品尺寸:5寸、6寸

  刻蝕SiO2、SiNx、Cr等金屬的刻蝕

            


用戶服務:

1.關于用戶需求:

         如果您是一名碩博生,做工藝或開發新器件,需要用到光刻掩模版,L-Edit設計版圖之后,苦于沒有太多時間聯系加工或對制版業務不太熟悉,那么聯系我們吧。我們可以代您執行下列事情:

       檢查版圖、聯系加工、取版、上門送版、費用結算.

       您專注于設計和新結構開發,做高大上的研究工作,把時間用在刀刃上,而我們來執行具體的、瑣碎的事情,從而可以為您:

    (1)節省您的時間:只需要您設計好版圖提交給我們,我們會以最高效率、最快時間完成你的設計,將版子送到你的辦公室或指定地點。

    (2)檢查設計,加工之前進行預先檢查,從而排除可能出現的問題。

2. 我們的服務:


(1)更高效、更全面滿足需求:負責多家制版加工中心的統

籌、調度工作,從而能夠滿足多種規格、同時能夠更高效率的利用資源。

(2)加工之前的預先檢查和加工后的核對:避免出現設計上的缺陷和問題,從而節省科研工作者的時間和因重復制版造成財力的浪費。

(3)部分地區上門派送:北京地區、長三角地區(蘇州、上海)可上門派送,其他地區可以順豐快遞,這樣節省了客戶花在路上的取版時間。

4)設計指導:如果您不熟悉掩模版的繪制,只需要提交草圖或書面說明即可,我們幫你解決其他一切事情。

5)財務結算上,我們以盡量簡潔的方式進行,可分進行單次結算和每月結算。

3.制版流程:

(1)發送光刻版L-Edit圖及Word版光刻版制版說明到Labideas@sina.com。

   1-光刻版L-Edit圖應該鋪滿全版。

 2-光刻版說明中應該包含

     制版人信息:姓名-單位-聯系方式-配送地址

     光刻版的制版事項:尺寸,透光情況,精度要求。

(2)等待接收光刻版即可。

(3)我們在制版期間發現問題會通過電話或郵件與您進行溝通確認。

(4)交付工期,我們分為加急和普通兩類。

     一般加急件當天可以制版完成,第二天客戶可以收到光刻版。

     而對于普通件,一般工期為3~5天內收到光刻版。

     對于一些特殊精度要求的版圖,可能需要更長的時間,我們一起協商工期的問題。

4. 關于結算:

我們分為每次結算和每月結算,其中:

  (1)對于偶然有制版需求的用戶,可以在收到發票之后直接現金支付或支付寶轉賬支付,根據協商來靈活進行支付即可。

  (2)對于經常性有制版需求的用戶,可以申請為月結算用戶,每月進行結算一次。我們會有專人負責聯系您,每月20號~25號為您寄送發票和制版清單進行結算。

5.關于售后

     如果客戶發現光刻版的質量或其他任何問題,均可以通過Labideas售后服務電話18518552906或郵件labideas@sina.com聯系我們,我們會第一時間無條件的為客戶解決問題,快速決定是否做返工處理。

6.溝通互動:

我們想將制版服務做到極致,非常歡迎來自您最真實的聲音,這樣我們會更清楚的認識到現在存在問題以及未來的解決方案,如果您通過我們的平臺制版,每次結束后您可以發送一封關于制版的任何方面的反饋信到:labideas@sina.com. 作為對您的珍貴意見和建議的酬謝,我們非常樂意并會精心的準備一份小禮品快遞給你。記得不要吝惜賜教?。。?!

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